乍一看光刻(kè)技(jì)術和蝕刻機(jī)很接近,可(kě)是光刻技(jì)術和蝕刻機卻不混(hún)為一談,由於刻蝕僅僅製造芯片其中之一的步驟而已。而刻蝕機隻不過(guò)是眾(zhòng)多芯片製造設備其中之一(yī)。下邊在這裏(lǐ)給大(dà)家聊一下蝕刻機。
蝕刻(kè)機和光刻技術其實也就是截然不同的二(èr)種機器設備,不論從作用或是在結(jié)構上而言都是天(tiān)壤之別,光刻技術是芯片製造過程裏為中心的機器設備,芯片製造是通過光刻技術所決定的,而非蝕刻機。
從原理來看光刻技術和蝕刻機(jī)。
如果將製造芯片比作建房子,那樣光刻技術的作用是把房子的結構標明在地板上。蝕(shí)刻機便是在光刻技術進行之後才登場的機器(qì)設備,都是光刻技術進行(háng)之後尤為重要的機器(qì)設備之一。蝕刻機主要的的(de)作用是依(yī)照光刻技術早已標明好的線去做(zuò)基礎建設,把沒有用的地區給清理掉,隻留光刻技術環節(jiē)中標(biāo)明好一點的路線(xiàn)。
從在結構上看來(lái)光刻技(jì)術和蝕刻機。
光刻技術(shù)的重要的關鍵技術便是燈源和激光光路,其燈源和激光光路的重要構成部分有(yǒu)四個,燈源、曝出、檢驗、和其它高精密機械製造構成。對比下,蝕刻機的構造構成就需要簡單一些,通常(cháng)是等離子頻射(shè)源、反映室和真氣體路(lù)等構成。