近期光刻技術(shù)和蝕刻機一直全是當今較熱(rè)的話題討論,可以說光刻技術是芯片(piàn)製造的魂,蝕刻機是芯片製造的(de)魄,要想生產製造的處理芯片,這兩(liǎng)個(gè)物品都務必。
這倆設備簡易的表述便(biàn)是光刻技術把(bǎ)原理圖投射到遮蓋有光刻技術的單晶矽片上邊,蝕刻機再把(bǎ)剛剛畫了原(yuán)理圖的單晶矽片上的不必要原理圖浸蝕掉,那(nà)樣看(kàn)上去好像沒有什麽難的,可是有一個品牌形象的形容,每一(yī)塊處理芯片上邊的電源電(diàn)路構造變大成千上萬(wàn)倍看來(lái)比全部北京市都繁雜(zá),這就是這光刻技(jì)術和蝕(shí)刻的難度係數。
光刻技術的全過程就是目前製做(zuò)好的矽圓表層塗上一層光刻(kè)技術(一(yī)種能夠被光浸蝕的膠狀物(wù)化學物質),接下(xià)去根據光源(加(jiā)工(gōng)工藝難度(dù)係數紫外線<深紫外(wài)線<極紫外線)通過掩膜照射矽圓表層(相(xiàng)近投射),由於光刻技術(shù)的遮蓋,照射的一部分被浸蝕掉,沒有(yǒu)陽光照射(shè)的一部分被留下,這些就是必須的電源(yuán)電路構造。
蝕刻分成二種,一種是(shì)幹刻,一種是濕刻(kè)(現(xiàn)階(jiē)段流行(háng)),說白了,濕(shī)刻(kè)便是全過(guò)程中有冰添加,將上邊曆經光(guāng)刻技術的圓晶與特殊的化學溶液反映,除掉不用的一部分,剩餘的就是電源電路構(gòu)造了(le),幹刻現階段都還沒完成商業服務批量生產,蝕刻機基本原(yuán)理是根據等離子技術(shù)替代化學溶液,除去(qù)不用的矽圓一部(bù)分。