(1)FeCl3濃(nóng)度值對(duì)蝕刻速率的危害:FeCl3蝕刻(kè)液中隨FeCl3濃度值的提高,蝕刻速(sù)率加速。當所含FeCl3超出某一濃(nóng)度值時,因為蝕刻機水溶液粘度提升,浸蝕速(sù)率反倒有一定的降低(dī)。五(wǔ)金蝕刻設備廠(chǎng)家針對選用抗蝕(shí)印料或抗蝕濕膜的銅零件,濃度值(zhí)可調節在(zài)35°波美度上下;選用液態光致蝕劑(如骨膠,丙烯酸乳液等)的銅(tóng)零件。濃度(dù)值(zhí)操縱在42°波美度(dù)上下。一般狀況下,蝕刻機醫療箱內藥液濃度值(zhí)在350g/L-600g/L為宜。
(2)硫酸的加上量對蝕刻機的浸蝕速率危害:在腐蝕機中添加硫酸,一則可以(yǐ)抑止FeCl3和CuCl2的水解反應;二則可提升蝕刻速率。尤其是當蝕刻液中銅成分大(dà)路37.4g/L後,鹽酸的作用更為顯著。但這應依據不一樣的抗蝕層原(yuán)材料挑選適宜(yí)的酸度,假如抗(kàng)蝕層挑選骨膠,果(guǒ)膠,丙烯酸乳液等光致抗蝕層,則不能用太高(gāo)的酸度,不然(rán),抗蝕層便於被毀壞。針對光感應環氧樹脂抗蝕劑(jì)及油墨印刷抗蝕(shí)層,則可以挑選較高的酸度。
(3)溫度對蝕刻速率的危害:在FeCl3蝕刻加工工藝中,隨(suí)溫度的上升,蝕刻機中產品工(gōng)件的浸蝕速率顯著加速(sù)。例如在50℃時,全新升級蝕刻液對銅的蝕刻速率可做(zuò)到10μm/min。但在現實(shí)製造中,全是(shì)選用(yòng)常溫下蝕刻方式。FeCl3對銅的(de)蝕刻是一個化學(xué)反應,伴(bàn)隨著(zhe)蝕刻的開展,蝕刻機中藥材水溫度會慢慢上升,蝕刻(kè)速率加速。伴隨著FeCl3的耗費,蝕刻速率也會降(jiàng)低。與此同時這(zhè)一提溫全過程(chéng)也較(jiào)為(wéi)遲緩,因此在全部蝕刻全過程(chéng)中蝕刻(kè)速(sù)率轉變並不(bú)大。